不可能喊了出来,“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶!不可思议!”
梁总继续问,“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作,你竟然能用手拆了之后复原,并且不影响他们的精度?”
“梁总,要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否,那也太低级了。就算是全机械流水线安装,大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗?”
“那……”
“他们肯定都有互相匹配的卡位装置,就连螺丝转几圈都有具体规定,并且都留有细微的调整余量。像掩模板传送模组的精度,相比晶圆传输模组与双晶圆平台模组的精度要求也不一样,精度是可以借流程推进逐步提高的嘛。这东西内部的运作程序如何修正定位误差,才是最终成品能运作的核心问题。”李颜说道,“这种级别的精度本来就不可能光靠‘怎么放置’的机械操作保证。”
梁总听得很急,他有太多问题想问了:“你怎么能知道螺丝转几圈这种东西?”
“我拆的时候记住了。”
“就……就靠记?”范总也懵逼了。
未免太离谱了吧,爽文也不能这么爽啊。
“当然不,螺丝拆了拧回去也有一定磨损,我毕竟徒手操作,有些地方不可能跟原来一模一样。所以需要完全理解这台机器,明白这里螺丝为什么转这么几圈,然后借计算机模型的辅助,确认我装回去的时候需要转几圈。”
好的更离谱了。
“那你说的,程序运作……难道你直接解析了机器的内部运行系统吗?”
“我写了个新的。”李颜笑道。
梁总突然感觉胸口涌出一股热血,马上就要喷涌而出。
他几次想说话,但是看着李颜根本问不出来,最后摇摇头,“我……没什么想问的了,范总,我现在就想把它运回去,咱们测一测能不能造28nm制程的芯片。”
石磊听得心惊肉跳,凑近李颜耳朵悄悄问:“浸润系统你都拆了,回头还能用吗?”
“我又不是真的把全部零件拆干净……”李颜无奈,“也不是所有部件都能拆啊,石院,我这次不是一比一复刻,有些东西只要理解他的原理,然后用自己的方式实现就可以了。”
“你之前可跟我说的全部零件都知道尺寸知道作用知道相对位置啊。”
“我当时这么说,你都不信。我要是说我准备优化,看看人家怎么做然后用自己方式实现,你不得直接当我放屁?”
“嗨哟,”石磊笑,“那我可不敢。”
李颜耸肩,“而且我也确实要先完全理解这台,才有可能自己搞一台。”
“可别说了,我今天这心脏快受不了了。”
在梁总的坚持下,范总拉来了华芯国际的专业团队,准备把李颜研究室里的光刻机运回去搞测试。
光是怎么把这东西安全地弄回“包装盒”并且运上车,就搞得大家灰头土脸。
梁总期间不断感慨,“这他妈他>> --