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华芯国际总经理范总也觉得不可思议,马上问道,“你拆下来了一些零件?”
“是的。”
“现在能运行吗?”
“当然能。”李颜点头,“东西就在研究室里边,不过我没有配套生产链。二位比较熟悉,也可以先去看看,回头送去华芯国际做测试也无妨。”
梁总憋着一句“这不可能”憋得很辛苦。
“这不太好,”黄书记说道,“万一路上颠簸出了问题,到时候可搞不清楚。”
“问题不大,”李颜摆摆手,“我到那边修就行了。”
……?石磊突然鼓起了掌,并说道,“范总,梁总,就按李颜说的来吧。测试完了能正常运转的话,我们后边争取资源就轻松多了。”
华芯国际当然没有拒绝的理由。
后续几个人又去研究室看了光刻机,因为光刻机本身在无菌室里,所以他们只是隔着透明玻璃往里看。
也看不出怎么个所以然。
梁总盯着看了好一会儿,实在是憋不住心里的疑惑:“李总,我问一些问题,您不要觉得有冒犯,也不是我不信任您……”
“不必如此,”李颜笑道,“交流而已,请讲。”
“这台是浸润式duv?”
“是。”
“你所说的自己设计的光刻机,也是浸润式?”
“是,附带成本更高昂一点的浸润系统,优化要等后续,并且大概需要一段时间的测试。”
“你意思是,你没有进行测试?”
“我都没做出来,没法测试。手里只有这台东西,而且超纯水什么的,我这边也不好搞,华芯国际有现成的,我才说让你们测试。”
梁总眉头紧紧皱起,“那你怎么,就觉得自己的想法可行?”
“我在脑子里跟电脑里都模拟过了,妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了,考虑到当前华夏的工业生产水平,相比起光刻机,我目前为了先做出来的方案一,更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别,我还需要根据实际生产的情况进行优化。”
……嘶,梁总匝巴嘴,心想姑且当李颜说的是真的,便继续问道:“分辨率跟套刻精度呢?”
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“跟阿斯玛的一样,193的波长,ArFi光刻机,分辨率38nm,得益于浸润式的提升,最小制程7nm。”
梁总心里一边听一边狂喊“不可能”,喊得筋疲力尽。
李颜突然一拍脑袋,补充道,“当然,目前套刻精度受制于制作工艺精度,实际用起来,想要通过多重曝光达到7nm制程,良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题,实际应用的话,应该还是制程28nm的芯片为主。”
“你说的要都是真的,你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的>> --