资料，撰写毕业论文，商定等拿到a毕业证后就回国看望爸妈！”

    “圆圆，我到时带爸妈来参加你们的毕业典礼。”

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    “汤普森院长，极紫外光技术项目还需要多少资金投入？”

    九三年八月，a光刻机半导体研究院院长汤普森当着孙健董事长和一群高管的面承诺，光源研究所保证在三年内研制成功极紫外光，只需要3万美元的研发经费。

    一晃三年的期限快到了，从立项开始，前后一共花费了7万美元的经费，解决一道难题，又遇到一道难题，困难重重，远远没有看到结果。

    “董事长，我当初想的太简单了，我们在研究中发现，euv穿透物体时散射吸收非常厉害，这使得光刻机需要非常非常强的光源，这个难度是巨大的，因此连空气都能吸收euv，所以机器内部还得抽成高真空状态，这个项目还需要公司再投入1亿美元，建立一座真空腔体实验室，来模拟真空环境下遇到的各种问题。董事长，我辞去院长职务，推荐安格斯副院长担任院长，我继续带领光源研究所专心研究euv。”

    汤普森见到孙健，内心也非常惭愧，带着一群科学家废寝忘食的奋斗了近三年，仿佛又回到了，但他相信一定会研发成功，凭借这项研究成果能申请诺贝尔物理奖！

    光刻胶研究所所长安格斯博士在二年内就研发成功krf光刻胶，超过ibkrf光刻胶技术，不仅拿到5万美元的奖励，还晋升光刻机半导体研究院副院长，半年后凭借这项研究成果晋升美国科学院院士。

    “我同意公司再投资1亿美元的研发经费，也同意汤普森院长的辞职申请，任命安格斯副院长担任院长。”

    孙健当初听说汤普森保证在三年内研发成功极紫外光技术，就同意投入3万美元巨资，也没有抱多大幻想，

    即使花了3万美元，三年内没有研发成功，相信a的光刻机光源技术和制程工艺也会突飞勐进。

    这些年，a重回光刻机世界之巅，汤普森领导的euv研究团队功不可没。>> --