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    能量稳定性（sigma，%） 2

    光束尺寸（Fwhm，V x h mm）6x3

    光束发散（Fwhm，V x h mrad）2x1

    脉宽（Fwhm）（ns） 5-10 5-10 5-10”

    他们最后得到的结论就是这台光源具有“坚固设计、电晕预电离、固态电路、管道技术、激光能量监测、紧凑型准分子激光器，单相电、高可靠性、均匀光束轮廓、即时可用，无老化、全金属密封管、数十亿脉冲的超长寿命激光能量稳定、易于操作，易于集成”这些技术优点。

    松目一根得知了结果之后问研发部门的负责人栗山泰三：“栗山君，我们能仿制出这台193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源吗？”

    栗山泰三摇了摇头：“目前还不行，有些技术我们也需要时间消化吸收！”

    松目一根问道：“那你估计需要多长时间？”

    栗山泰三默默的估算了一下说道：“最快也需要一年左右的时间，这还是一切顺利的情况下，如果中间出现问题，时间还会往后顺延！”

    松目一根哀叹道：“那就太迟了，如果我们不能尽快的得到这项技术，我们会失去很多客户的，到那个时候我们就只有破产了！”

    而尼康跟佳能也分别从华虹采购了一台光源，尼康跟佳能分别进行整机组装，用组装出来的光刻机进行一些技术测试。

    而安装了193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源的尼康光刻机，经过流片测试，最大精度可以达到惊人的165纳米，这是目前尼康取得的最好精度了。

    尼康随即就向华虹公司发出了订单，要求订购这款光源，而不久之后佳能也同样向华虹下了二十台光源的订单！

    大量的订单出现让华虹的总经理乔栋才又喜又忧，喜的是产品受到追捧热销，忧得的是产量上不去，推掉了不少订单！

    作为华虹的大股东北光厂的米宝章催着乔栋才：“老乔，你赶紧跟从总说啊，让他催催华光的高精度镜片，那么多的订单都推掉了，这可都是钱啊！”

    乔栋才没好气的看了看米宝章说道：“我知道，还用你提醒啊！我已经问过了，从总会尽力帮我们解决的！”

    华虹193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源的热销，使得华虹目前可以自己养活自己了，不用再向以前那样依靠华天科技供养了，这也让华天科技少了一笔支出，让马友明松了一口气！>> --